離子滲氮由于滲氮速度快、生產(chǎn)周期短、變形小、局部滲氮方便，可進行低溫滲氮，節(jié)約電能、降低滲氮成本，現(xiàn)已被廣泛應(yīng)用于汽車、機械、精密儀器、擠壓成型機、模具等許多領(lǐng)域，而且其應(yīng)用范圍仍在日益擴大。

離子滲氮需要在真空設(shè)備中加入滲氮氣源以達到工件表面滲氮的目的，常加入的氣氛有氨氣、氮氣、氫氣、甲烷和氬氣。

1、氨氣。液氨是我國生產(chǎn)上應(yīng)用最廣泛的滲氮氣源，通常把液氨汽化成氨氣作為滲氮源。氨氣價格低廉、來源廣泛，但有很多缺點，如滲氮層脆性較大（和熱分解氨比）。氨在爐內(nèi)的分解率隨進氣量，溫度和起輝面積而變，進氣口處分解率最低，抽氣口處氨分解率最高，因此爐內(nèi)各處的氣體的成分是不同的，對輝光放電特性產(chǎn)生影響，造成零件表面電流密度不均勻。從真空泵中排出的廢氣中含有相當(dāng)數(shù)量未分解的氨氣，造成環(huán)境污染。

2、氮氣和氫氣。離子滲氮時，氫作為稀釋氣體加入，可調(diào)節(jié)滲氮氣氛的氮勢，很容易控制滲氮層的組織。氫氣起還原零件表面氧化物的作用，以獲得“活性”的表面，降低設(shè)備對漏氣率的要求。氮氣和氫氣對環(huán)境沒有污染，在離子滲氮負壓下使用氫氣也是安全的。

3、甲烷。氣氛中加入甲烷，即為離子氮碳共滲，又稱離子軟氮化。離子軟氮化溫度較高，滲速較快，可以有效的縮短生產(chǎn)周期。氮中含有碳的氣氛，還可降低工件表面的氮化脆性。

4、氬氣。氬氣可作為氮的稀釋氣體，氬氣的加入有使輝光收縮的作用，容易使工件的小孔、溝槽滲氮，提高工件的離子滲氮的整體氮化效果。

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